偵測系統

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半導體世界越來越精細，微小。因為無法視覺觀察到的外物跟異常，造成生產品質的問題，用來代替工程師眼睛的儀器越顯重要。在非視覺的世界中，靜電/粉塵或是化學污染需要更精密跟好用的感測系統來協助工程單位做判別問題根本，有檢測的機制之後，也需要一些系統化的解決方案，協助客戶做到更有效並且快速的解決問題。

氣體偵測器

Gas detection 氣體偵測器/ TVOC detector(總揮發性有機氣體偵測器)/ AMC detector(微污染氣體偵測器)

樣品在高溫下燃燒，將有機物中的硫轉化為二氧化硫。經洗滌器過濾後，進入螢光室，利用光電倍增管以紫外線螢光法測量。

粉塵偵測（粒子計數器）

Particle detection (粒子計數器)

能在不打開機台的情況下(破真空)即時測量設備腔體內部氣體中的微塵粒子數量(粒子計數器)

靜電/電阻偵測

ESD / Resistance detection

半導體震動與水平偵測儀器

半導體震動/水平/濕度三合一偵測儀器

半導體自動間隙量測系統

半導體自動對位系統

半導體自動電阻量測儀器