半導體自動電阻量測儀器

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半導體自動電阻量測儀器

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無線傳輸,晶圓形和鋰電池供電,尺寸為 300mm

耐用的外殼邊緣接點採用貴金屬鍍層,機械堅固

50 個測量區與SABRE 化學和清潔程序化學相容

高精度: 1mΩ ±1% 範圍,具有標準化讀數

解析度100μΩ

重量 270 g,厚 5.5 mm

  • Electrochemical Deposition; ECD

 

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