靜電/電阻偵測

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靜電/電阻偵測

point

ESD / Resistance detection

ESD:

空氣當中的靜電,若沒有有效的引導或是阻絕機制,很容易在搬運或是製造過程當中發生靜電的破壞影響,有效的偵測機制可以找到發生的原因跟位置,特殊的工程材料或是金屬引電設計可以達到降低靜電破壞的風險。

代表產品:抗靜電膠帶,微導電材料加工,離子風扇,靜電消除器

 

Resistance sensor:

用在電鍍機的夾具上的阻抗量測。平常的使用是因為夾著晶圓到電鍍液中,幾個lot之後可能會讓夾具的pin會讓電鍍液度到,然後影響電鍍效果。傳統方式用電阻計一顆顆量測電阻值,現在用ARS一次量測,可以全部pin都看到電阻值。

代表產品:ARS

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