晶圓形狀: 200mm和 300mm晶圓尺寸。

即時無線傳輸和真空環境相容於像晶圓一樣移動，並且由於設備在檢查過程中保持密封而花費更少的時間。

高精度: 精確到 ±0.1mm(x , y位置)；±0.8 mm（z 位置）。

專用軟體 Cyber​​Spectrum：顯示即時視訊和目標特徵的測量結果、偏移和用戶評論。允許教學圓形特徵，直徑為 3mm-10mm。

整合審閱功能；重播日誌檔案資料以進行審查和分析。