機械智慧手臂監控系統

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機械智慧手臂監控系統

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長智科技為半導體產業開發機械智慧手臂監控系統,提供機械手臂振動分析(量測)服務,並供應 Fab IoT-VRS 振動感測器SurfCon®Pad 防滑材料,確保設備運行穩定與精準控制。

SurfCon®Pad 機械智慧手臂防滑材料

Robot Pad New Material取代現有半導體機械手臂上乘載固定產品之防滑材料 (傳統使用: O ring, Peek等工程塑膠材料)

透過材料本身的特性,以凡德瓦力之作用將產品以大於靜摩擦力的能量,將產品牢固維持在固定位置。

可預防因材料磨耗造成的滑動,零件異常的抖動,增加手臂傳送速度,快速清潔,真空內效能不變。

在半導體已有大量的使用經驗

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