透過無塵室粉塵控管法規，ISO14644-1， ISO21501-4，粉塵或顆粒異物會造成生產的品質疑慮，無論生產製造過程中發生的產出物或是外來污染源皆是。長智提供空氣/真空與液體的不同偵測儀器或感測器，airborne particles sensor/ Liquid particle sensor/ inline particle sensor. 

代表產品：CyberOptics Wafersense APS/ IPS

Airborne Particle Sensor (APS)

晶圓氣體微 塵偵測系統

創新的設計，將偵測能力最小至0.15um的微塵偵測系統設計成類晶圓形狀，能在不打開機台得情況下即時測量設備腔體內部氣體中的微塵粒子數量(粒子計數器)，並能應用於晶圓自動搬運系統(AMHS)的微塵污染監控。讓您即時分辨微塵污染來源來縮短生產線上的設備維修保養時間。本產品備有8吋和12吋規格。

In-line Particle Sensor™ (IPS™)

利用IPS和全新的CyberSpectrum™軟件收集並顯示粒子數據(粒子計數器)，用於即時設備診斷。通過CyberSpectrum，

能更輕鬆快速地比較過去和現在的數據以及不同設備之間的數據。實時觀察清潔、調整和維修的效果。

迅速定位污染源，節省時間。