晶圓形狀: 提供 150mm、200mm和 300mm晶圓尺寸。

藍芽傳輸: 將微塵資料即時傳輸到筆記型電腦或 PC。

測量尺寸:  0.1μm 和 0.5μm的微塵以及 2、5、10 和 30 μm的較大微塵

專用軟體 Cyber​​Spectrum™ 應用軟體為使用者提供即時視覺回饋，並可記錄和重播記錄的數據以供查看和分析。