氣態分子污染物 AMC 除了會影響工廠作業人員的身體健康，對於半導體產業而言，AMC 更會對晶圓品質帶來負面影響，因此能夠過濾 AMC 的化學濾網成為了產業必須設備。以下將和您分享化學濾網對於半導體、對於 AMC 控制的重要性，並解析化學濾網的種類，帶您瞭解化學濾網帶來的效益。

化學濾網是什麼？化學濾網功能與重要性說明

化學濾網 Chemical Filter 是一種專門用來吸附、過濾氣態分子污染物 Airborne Molecular Contamination 的濾網。由於過濾污染物質的需求日漸提升，在半導體、醫藥產業，以及無塵室、實驗室等空間，都可以見到化學濾網的存在。

半導體製程為什麼需要化學濾網過濾 AMC？

使用化學濾網過濾 AMC，可以把多種污染物質擋在濾網外，藉此保護操作人員的健康。除了讓員工在乾淨無污染的環境下工作，化學濾網在半導體產業扮演了另一種守護晶圓品質的角色。

由於半導體的製作工藝不斷精進，細緻化的速度遠超人類想像，對於半導體晶圓製作的要求也迅速上升，只要稍微有一點 AMC 或其他污染物的出現，就會讓半導體晶圓品質大受影響。因此，檢驗標準從肉眼可見的大顆粒污染物，變成一奈米大小的小污染物都必須被濾去。要求一旦提升到需近乎純淨，化學濾網便成了半導體產業不可或缺的設備。

化學濾網怎麼控制、過濾 AMC？

化學濾網過濾 AMC 的主要原理，是利用活性碳、椰子碳或樹脂等材料把 AMC 吸附在化學濾網內，避免對產品、對員工健康有害的 AMC 持續在空氣流通。

使用不同材質的化學濾網，可以過濾不同種類的 AMC。當今常見的化學濾網材質有以下三種，用來應對不同屬性的污染物與臭味：

• 優質活性碳：用來過濾揮發性有機化合物，如甲醛、乙醛、氮氧化物、硫化物，也能淨化油漆味、食品氣味、煙味等臭味。
• 改質活性碳：泡過化學藥劑的活性碳，針對酸性氣體進行過濾，像是氯氣、硫酸、亞硫酸、二氧化硫、鹽酸等。
• 離子交換樹脂：淨化胺類、阿摩尼亞等鹼性氣體，也可淨化 甲基吡咯烷酮 NMP 等有害物質。對於浴室氣味、動物氣味也有消除效果。

化學濾網種類有哪些？3 種常見化學濾網介紹

前面介紹了化學濾網對於半導體產業的重要性，也從材質的角度介紹化學濾網種類，接下來會依據化學濾網的結構介紹 3 種常見的化學濾網種類：

摺景式濾網

摺景式化學濾網是最常見的化學濾網類型，將濾網打摺後放入不同形狀的容器內。優點是更換容易、調整空間大，有些廠商甚至會把濾網摺成波浪式，以提升過濾能力與濾網壽命。

選擇這類化學濾網時，建議選擇摺景數較多、摺景較深的化學濾網，藉此降低通過濾網的氣流速度，也能讓濾網表面積增加，不只過濾效能較好，也能延長化學濾網的壽命。

了解產品 →

泡棉式濾網

泡棉式化學濾網則是把活性碳、樹脂等濾材做成泡棉狀，再放進容器裡。這類濾網對於氣體污染的過濾效果較好，無論酸性、鹼性、有機揮發物，還是甲醛、臭氧等氣體都能有效過濾，有良好的消臭效果，但因為表面積不會像摺景式化學濾網那麼高，整體碳利用率、吸附過濾力會稍遜於摺景式化學濾網。（專利產品，可重複使用數次）

了解產品 →

填充式濾網

填充式化學濾網則是直接把活性碳、樹脂等濾材顆粒填上容器。此時濾材的表面積較大，可以吸附較多污染物值，但污染源的氣流會直接經過，不會有摺景與泡棉的緩衝，在氣流速度高的環境下容易耗損，故比較適用於氣流速較低，但污染源濃度高的場合。

了解產品 →

3 種化學濾網比較

化學濾網推薦：讓長智科技用化學濾網解決半導體開發難題

看完以上關於化學濾網的介紹，相信您對於化學濾網這項提升半導體晶圓產出良率、營造健康工作環境的設備，有了更深入的瞭解。若想將化學濾網應用於製程，需要詳細理解工廠需要過濾的氣態分子污染物 AMC 為何、會面臨什麼樣的污染環境，認識工廠需要使用的濾網材質與種類，才能選擇真正合適的化學濾網，解決製造過程中的污染問題。

若您有安裝化學濾網的需求，在此推薦您讓長智科技幫助您解決問題！長智科技與長期專注於空氣過濾解決方案的奇異科技合作，代理多種摺景式、泡棉式、填充式化學濾網，結合長智科技熟悉半導體產業工作流程、高度客製化的優勢，幫助各大半導體、精密工業產業擬定污染源過濾解決方案，選擇最合適的化學濾網，解決半導體與晶圓製作過程中會面臨的惱人污染問題。

若想請長智科技協助安排化學濾網的設置，或想探索其他半導體產業解決方案，歡迎您隨時與長智科技聯繫，瞭解長智科技如何帶領半導體產業走向成功。