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近日(3/16)新竹科學園區發生變電所爆炸起火事件,除造成人員受傷外,也對園區供電品質造成短暫影響。初步資訊顯示,該事件導致區域性電壓下陷(Voltage Sag),對部分廠區設備運作與製程穩定性帶來潛在風險。
在半導體製造環境中,電力異常不僅限於停電,更常見且難以察覺的是短時間的電壓波動。此類現象可能不會立即造成設備停機,但卻可能影響製程參數,進而對產品良率與品質產生影響。
突發性外在電力事故難以完全避免,廠區內部必須具備足夠的二次防護能力。
毫秒級的電壓波動即可導致敏感機台參數偏離,進而影響產品良率與生產進度。
建構即時切換保護與動態監控機制,是確保製程不間斷運作的防禦核心。
t-Parus 長期致力於提供電力穩定與製程監控相關解決方案,包括電壓異常防護系統(VSP)、製程感測工具(WaferSense)以及整合型環境監控方案,協助客戶在面對突發電力事件時,降低風險並確保生產穩定。
未來,我們也將持續關注電力品質議題,並與產業夥伴共同提升半導體製造環境的韌性與安全性。